用双光束干涉制作二维光子晶体

大学物理 ›› 2012, Vol. 31 ›› Issue (5): 54-54.

用双光束干涉制作二维光子晶体

李景娟张新平翟天瑞王丽江少林王越

北京工业大学应用数理学院,北京100124

出版日期:2012-05-25 发布日期:2012-05-20

Fabrication of two-dimensional photonic crystal by double-beam interference

Online:2012-05-25 Published:2012-05-20

摘要/Abstract

摘要： 利用双光束干涉,在光敏材料上制作光子晶体结构.通过改变两束光之间的夹角可以改变制备样品的周期.改变曝光次数以及两次曝光时干涉条纹的夹角可以分别得到一维、二维正方晶格以及二维三角晶格结构的光子晶体.

关键词: 双光束干涉, 干涉光刻, 光子晶体制作

Abstract: The fabricate photonic crystal on photosensitive material is proposed by double-beam interference.The period of the structure can be controlled by changing the angle between two beams.The one-dimensional grating structure and two-dimensional photonic crystals with square lattice and triangular lattice should be obtained by changing the time of exposure and the angle between the interference fringe of two exposures.

Key words: double-beam interference, interference lithography, fabrication of photonic crystal

中图分类号:

O436.1

李景娟张新平翟天瑞王丽江少林王越. 用双光束干涉制作二维光子晶体[J]. 大学物理, 2012, 31(5): 54-54.

[1]	朱玲, 卢荣德, 赵伟, 郑虹, 张权, 李恒一. 分波前法双光束干涉实验对比累对切透镜切去部分的宽度测量[J]. 大学物理, 2021, 40(9): 28-.
[2]	李文成[] 谷晋骐[] 王涌萍[]. 双光束干涉条纹间距的在线测量[J]. 大学物理, 2003, 22(8): 28-28.
[3]	潘维济. 光学一题[J]. 大学物理, 1988, 1(6): 8-8.
[4]	潘维济. 光学一题[J]. 大学物理, 1988, 1(2): 9-9.
[5]	潘维济;李婉茹. 洛埃镜干涉条纹的可见度[J]. 大学物理, 1984, 1(4): 21-21.