多功能微波等离子体教学研究装置的研制

大学物理 ›› 2009, Vol. 28 ›› Issue (6): 33-33.

多功能微波等离子体教学研究装置的研制

张磊[1] 侯想[1] 胥明[1] 夏明荣[2] 马志斌[1]

[1]武汉工程大学等离子体化学与新材料省重点实验室,湖北武汉430074 [2]杭州大华仪器制造有限公司,浙江杭州311400

出版日期:2009-06-20 发布日期:2009-06-20

Development of multifunctional microwave plasma teaching and investigation device

Online:2009-06-20 Published:2009-06-20

摘要/Abstract

摘要： 针对目前国内等离子体技术的教学和研究远远落后于工程应用的实际情况，开发了多功能微波等离子体教学研究装置．该装置利用频率2．45GHz的微波激励稀薄气体放电，形成轴对称的等离子体球，产生的等离子体无内部电极，可避免放电污染．同时通过微波技术、真空技术、冷却技术的集成，使该装置结构紧凑、性能稳定、性价比较高．利用该装置进行了金刚石薄膜沉积与离子体诊断实验，效果良好．

关键词: 微波等离子体, 金刚石膜沉积, 离子体诊断

Abstract: Multi-functional microwave plasma teaching and investigative device are developed for the colossal distance between teaching investigation and application of plasma technology. The frequency 2.45 GHz microwave incentive rarefied gas discharge is used to form axisymmetric plasma. Plasma without the internal electrode can a- void discharge pollution. Microwave, vacuum and cooling technologies have been integrated in the device, so it is stability and cost-effective. The equipment has been used for the experiments of diamond films deposition and plas- ma diagnosis, and the results are very well.

Key words: microwave plasma, diamond films deposition, plasma diagnosis

中图分类号:

O4-33

张磊[] 侯想[] 胥明[] 夏明荣[] 马志斌[]. 多功能微波等离子体教学研究装置的研制[J]. 大学物理, 2009, 28(6): 33-33.

[1]	张春玲[];刘冠男[];钱钧[];孙骞[];唐蕾[]. 拉脱法测液体表面张力系数实验探讨[J]. 大学物理, 2016, 35(1): 31-31.
[2]	赵芸赫;王舒涵;成玫芗;马宇翰;李多;王海波. Sagnac演示实验装置的设计[J]. 大学物理, 2016, 35(1): 49-49.
[3]	王龙李东霞马红章李书光王晓萌. 动态法测量杨氏模量的理论分析与Matlab辅助研究[J]. 大学物理, 2015, 34(10): 39-39.
[4]	刘清权王翔李世剑刘伟史庆藩. 流体力学综合实验平台的设计[J]. 大学物理, 2015, 34(10): 48-48.
[5]	田得良[] 蔡东阳[] 叶晓靖[] 肖明辉[] 李亮[]. Kelvin滴水发电机起电速度探究及装置改进[J]. 大学物理, 2015, 34(10): 51-51.
[6]	. 演示实验教学研讨会会讯[J]. 大学物理, 2015, 34(8): 11-11.
[7]	张哲朋范海波杨希龙陈武军郑新亮姚合宝贺庆丽. 塞曼效应实验中法布里-珀罗标准具的Matlab模拟[J]. 大学物理, 2015, 34(8): 48-48.
[8]	牛晓东[] 卢莉蓉[] 郭嘉泰[] 袁小燕[] 石春花[]. 拉伸法测硅胶力学性能[J]. 大学物理, 2015, 34(7): 20-20.
[9]	徐珏[] 陈元杰[] 马永利[]. 负载动态法测均匀细杆杨氏模量的理论与方法[J]. 大学物理, 2015, 34(7): 39-39.
[10]	张洁. 热电偶定标实验仪器的改进研究[J]. 大学物理, 2015, 34(5): 44-44.
[11]	程敏熙肖凤平李志为. 从受迫振动到混沌的实验系统设计[J]. 大学物理, 2014, 33(11): 34-34.
[12]	路峻岭[] 秦联华[] 任乃敬[] 柴雨稷[] 韦祎[]. “听到光”实验[J]. 大学物理, 2014, 33(10): 24-24.
[13]	吕勤[] 苏雅[] 范有恒[] 王家慧[] 王卫[]. 落球法液体黏度测量仪的改进[J]. 大学物理, 2014, 33(8): 42-42.
[14]	王经淘程敏熙贾昱李荣妹. 利用Tracker软件分析气垫导轨上弹簧振子的阻尼振动[J]. 大学物理, 2014, 33(4): 22-22.
[15]	马玉利[] 戴心锐[]. 金属的杨氏模量测定研究[J]. 大学物理, 2014, 33(4): 18-18.