背散射电子成像在纳米多层膜形貌观察中的应用

赵梦鲤, 毛　栋, 董　磊, 董　雷

Application of back-scattered-electron imaging in nano-multilayer characterization

ZHAO Meng-li, MAO Dong, DONG Lei, DONG Lei

大学物理 . 2020, (07): 40 -44 . DOI: 10.16854 / j.cnki.1000-0712.190101