分子束外延

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摘要： 分子束外延（MBE）一词原来是用来称呼某些化合物特别是砷化镓（GaAs）的外延薄层的真空淀积（外延层晶体的取向和它在上面淀积的衬底的取向匹配）．然而，现在MBE包括半导体、绝缘体或金属薄膜在超高真空（UHV）中的淀积．

关键词: 分子束外延, 衬底温度, 渐变折射率, 真空淀积, 选择掺杂, 外延层, 金属薄膜, 超晶格结构, 表面分析技术, 异质结构

中图分类号:

. 分子束外延[J]. 大学物理, 1985, 1(7): 48-48.

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