大学物理 ›› 1986, Vol. 1 ›› Issue (4): 28-28.

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椭·偏·仪·工·作·原·理

郭才陶[1];胡承毅[2];陈玉青[1];杨定超[1]   

  1. [1]四川师大 [2]华东纺织工学院
  • 出版日期:1986-04-25 发布日期:1986-04-20

  • Online:1986-04-25 Published:1986-04-20

摘要: 激光椭圆偏光测厚仪(Ellipsometer,以下简称椭偏仪)是一种测定透光介质膜厚度和折射率的精密仪器.广泛应用于固体表面、薄膜光学、集成光学、半导体、集成电路、生物医学工程等各方面.以往在该实验的教学中,物理机制的揭示波淹没在大量的数学公式之中.以致各校学生普遍反映其原理难以理解.

关键词: 生物医学工程, 固体表面, 精密仪器, 薄膜光学, 集成光学, 集成电路, 数学公式, 物理机制

中图分类号: 

  • O484