大学物理 ›› 1996, Vol. 15 ›› Issue (10): 1-1.

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二元光学进展

黄婉云 范玲   

  1. 北京师范大学分析测试中心
  • 出版日期:1996-10-25 发布日期:1996-10-20

  • Online:1996-10-25 Published:1996-10-20

摘要: 对二元光学的产生和发展作了简要的介绍,通过说明二元学光元件的设计和制作过程,建立二元光学的基本概念,阐述了二元光学的主要应用。

关键词: 二元光学, 衍射光学元件, 光刻

中图分类号: 

  • O436