大学物理 ›› 2004, Vol. 23 ›› Issue (9): 41-41.

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椭圆偏振法数据处理软件设计

黄佐华 吴雪忠 何振江 杨冠玲   

  1. 华南师范大学,物理与电信工程学院,广东,广州,510631
  • 出版日期:2004-09-25 发布日期:2004-09-20

Design of a software for the ellipsometric data processing

  • Online:2004-09-25 Published:2004-09-20

摘要: 以C++Builder 6.0为开发工具,成功设计和编制了一套椭偏法数据处理软件,它具有求解透明膜厚度、折射率和金属复折射率以及绘制(n,d)~(Ψ,Δ)列线图的功能,求解膜厚和折射率精度分别达到0.01 nm和0.001.实验表明该软件的求解结果是准确和可靠的.

关键词: 椭圆偏振术, 椭偏仪, 数据处理, 软件, 薄膜

中图分类号: 

  • TP312