大学物理 ›› 2005, Vol. 24 ›› Issue (5): 46-46.

• • 上一篇    下一篇

光学平移装置行进横向漂移的干涉法测量

王叶   

  1. 上海大学物理系,上海200436
  • 出版日期:2005-05-25 发布日期:2005-05-20

The measurement of the transversal shift of an optic-moving stage with interferometer

  • Online:2005-05-25 Published:2005-05-20

摘要: 应用泰曼-格林干涉仪测量步进电机控制下光学平移装置行进时的横向漂移,鉴于步进装置行进时的震动和它引起的探头抖动干扰,提出一种基于小波变换滤波的条纹细分技术,以利于信号识别和精确测量.

关键词: 漂移, 干涉条纹, 小波变换

中图分类号: 

  • O4-34