基于迈克尔孙干涉的光学元件厚度测量实验装置

大学物理 ›› 2016, Vol. 35 ›› Issue (5): 24-26.

基于迈克尔孙干涉的光学元件厚度测量实验装置

周冀馨1,王云新2,张　欣2

1. 天津电子信息职业技术学院电子技术系，天津　300350; 2. 北京工业大学应用数理学院，北京　100124

收稿日期:2015-04-21 修回日期:2015-10-19 出版日期:2016-05-20 发布日期:2016-05-20
作者简介:周冀馨(1981—)，女，湖南长沙人，天津电子信息职业技术学院讲师，硕士，主要从事电气自动化教学和研

The experimental device for measuring the thickness of the optical elements based on the Michelson interferometer

ZHOU Jinxin1，WANG Yunxin2，ZHANG Xin2

1. Electronic Technology Department，Tianjin Electronic Information Vocational Technology College，Tianjin 300350，China; 2. College of Applied Sciences，Beijing University of Technology，Beijing100124，China

Received:2015-04-21 Revised:2015-10-19 Online:2016-05-20 Published:2016-05-20

摘要/Abstract

摘要： 介绍一种基于迈克尔孙干涉的光学元件厚度测量实验装置.首先分析迈克尔孙干涉法测量厚度的原理;然后搭建迈克尔孙干涉光路，利用CCD 和计算机对干涉条纹进行采集和观察，使用MATLAB 软件对干涉图像进行处理，得出载玻片的厚度信息;最后对影响测量精度的因素进行分析.实验结果表明利用MATLAB 软件配合迈克尔孙干涉装置可以更加准确和方便的测量元件厚度.

关键词: 迈克尔孙干涉仪, 等倾干涉, 厚度测量, MATLAB

Abstract: An experimental apparatus is described，which can be used to measure the depth of optical elements based on the Michelson interferometer. Firstly，the basic theory of a Michelson interferometer is analyzed. Secondly，a Michelson interferometer optical setup is built to measure the depth of the glass slide，it used CCD and computerto capture and observe interference fringes，and MATLAB software is applied for image processing. Finally，the factors affecting the measurement accuracy is given. Experimental results show that it can be more accurate and convenient which use the Michelson interferometer to measure element thickness with the help of MATLAB software.

Key words: Faraday effect, Jones matrix, rotation, ellipticity

周冀馨,王云新,张　欣. 基于迈克尔孙干涉的光学元件厚度测量实验装置[J]. 大学物理, 2016, 35(5): 24-26.

ZHOU Jinxin,WANG Yunxin，ZHANG Xin. The experimental device for measuring the thickness of the optical elements based on the Michelson interferometer[J]. College Physics, 2016, 35(5): 24-26.

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