半绝缘GaAs 的欧姆接触电极材料Ag /Co 掺杂的非晶碳膜制备与检测

doi:10.16854 /j.cnki.1000-0712.2017.06.019

大学物理 ›› 2017, Vol. 36 ›› Issue (6): 78-81.doi: 10.16854 /j.cnki.1000-0712.2017.06.019

半绝缘GaAs 的欧姆接触电极材料Ag /Co 掺杂的非晶碳膜制备与检测

杜维嘉，翟章印，吉帅，藏婷玉

淮阴师范学院物理系，江苏淮安223300

收稿日期:2016-11-07 修回日期:2016-12-30 出版日期:2017-06-20 发布日期:2017-06-20
通讯作者: 翟章印， email: zhangyinz@ sina.com
作者简介:杜维嘉( 1995—) ，女，江苏南京市人，淮阴师范学院物理系应用物理专业2013 级本科生.
基金资助:
江苏省自然科学基金( BK20140450) 、江苏省高等学校大学生创新创业训练计划项目( 201510323016z) 资助

Preparation and detection of an ohmic contact electrode material Ag /Codoped amorphous carbon film for semi-insulated GaAs 　　

DU Wei-jia1，ZHAI Zhang-yin1， JI Shuai，ZANG Ting-yu

Received:2016-11-07 Revised:2016-12-30 Online:2017-06-20 Published:2017-06-20

摘要/Abstract

摘要： 稳定的欧姆接触对半导体器件的正常工作起到至关重要的作用.目前市场上主要采用金/金锗镍合金作为n 型GaAs 的电极材料，工艺复杂，成本高昂.本文研究了一种新型的、廉价的适用于半绝缘GaAs 的欧姆接触电极材料Ag /Co 掺杂的非晶碳膜及其制备过程，以便于读者对半导体器件的制备工艺和流程有所了解.

关键词: 半绝缘砷化镓, 欧姆接触, 光电导

Abstract: Stable ohmic contacts play the important role in the normal operation of semiconductor devices. At present，Au /AuGeNi alloy is used as the electrode material of n type GaAs. The process is complex and the cost is high.In this paper，a new type of ohmic contact electrode material Ag /Co doped amorphous carbon film for semi-insulated GaAs and its preparation process are introduced to make it easy for readers to understand the process and technology of semiconductor devices.

Key words: semi-insulated GaAs, ohmic contact, photoconductivity

杜维嘉，翟章印，吉帅，藏婷玉. 半绝缘GaAs 的欧姆接触电极材料Ag /Co 掺杂的非晶碳膜制备与检测[J]. 大学物理, 2017, 36(6): 78-81.

DU Wei-jia1，ZHAI Zhang-yin1， JI Shuai，ZANG Ting-yu. Preparation and detection of an ohmic contact electrode material Ag /Codoped amorphous carbon film for semi-insulated GaAs 　　[J]. College Physics, 2017, 36(6): 78-81.

[1]	邱宏，赵雪丹，于明鹏，吴平. 把“薄膜光电导效应”引入探究型实验教学[J]. 大学物理, 2018, 37(5): 57-61.
[2]	甄聪棉 [] 李秀玲 [] 潘成福 [] 聂向富 [] 王印月 []. 欧姆接触中接触电阻率的计算[J]. 大学物理, 2005, 24(6): 10-10.

半绝缘GaAs 的欧姆接触电极材料Ag /Co 掺杂的非晶碳膜制备与检测

Preparation and detection of an ohmic contact electrode material Ag /Codoped amorphous carbon film for semi-insulated GaAs

赞

可视化

摘要/Abstract

引用本文

使用本文

参考文献

相关文章 2

Metrics

本文评价

推荐阅读 0