大学物理 ›› 2001, Vol. 20 ›› Issue (5): 37-37.

• • 上一篇    下一篇

用多功能光栅光谱仪测定GaN膜的光学参数

王艳辉[1] 姚坤[2] 张国义[2] 段家忯[2] 童玉珍[2]   

  1. 大连理工大学物理系,[1] 北京大学物理系,[2]
  • 出版日期:2001-05-25 发布日期:2001-05-20

The optical parameter measurement of GaN by multifunction spectrophotometer

  • Online:2001-05-25 Published:2001-05-20

摘要: 介绍了用多功能光栅光谱仪测量GaN膜的吸收系数、折射率等光学参数的方法,并对结果进行了分析比较.

关键词: 吸收系数, 折射率, 消光系数, 氮化镓膜, 多功能光栅光谱仪, 禁带宽度, 测量

中图分类号: 

  • TN304.23